2021年10月19-21日，第十届微电子世界峰会（MEMS World Summit China2021）在上海嘉定凯悦酒店举行。MWS是一个由领先的MEMS制造商、设备和材料供应商以及研究机构参加的精英和独家邀请会议。意法半导体携最新的MEMS Sensor技术和解决方案参加了本次会议。

意法半导体模拟和MEMS先进研发解决方案负责人Fabio Quaglia在会上发表演讲，介绍了ST新一代PMUT解决方案，该方案结合超声和薄膜压电层技术，将给消费者应用带来变革性的创新。

▲意法半导体模拟和MEMS先进研发解决方案

负责人Fabio Quaglia

PMUT:  MEMS与超声技术碰撞出的新火花

压电微机械超声换能器(Piezoelectric Micromachined Ultrasonic Transducer,简称PMUT)是基于微机电系统(Micro-Electro-MechanicalSystem,简称MEMS)技术制造而成的超声能量转换器。相比传统超声换能器，其具有频率高、阻抗匹配优良、容易形成阵列等优点，因此被广泛应用于超声成像领域,如动作捕捉，指纹传感等方面。

MEMS和超声技术都是为人类生活带来变革性创新的技术。不论是年轻的MEMS，还是具有80年漫长发展历史的超声技术，都经历了从离线时代、在线时代到融入生活的科技新时代的发展过程。

历史的经验告诉我们， 任何新的应用都是依靠技术的进步来实现的。而事实证明，MEMS与超声技术将碰撞出惊人的火花。今天， 在工业，医疗和消费领域的假设模型需要依靠多点和多方位持续不断的数据来保证它的准确性，压电式微机械超声传导器（PMUTs）与微型电子模块的集成就是一个有效的解决方案。

跨越各领域的超声应用可以从压电式MEMS执行器件中受益，下一代的PMUT有望成为一项令人兴奋的新技术，因为它将超声技术和薄膜压电层有效的融合在一起。

以医疗领域的应用为例。随着医疗物联网的成熟部署，以设备为中心转向以数据为中心，医疗设备与患者的交互愈加重要。PMUT可用于进行长期的患者监测，比如以超声波贴片方式，提高患者的舒适度。ST的智能PMUT模块 + 运算和连接功能，可满足医疗领域在数据时代的新需求。ST支持所有医疗细分应用， 先进的BCD SOI和PMUT 技术提升医疗设备的价值。

ST在新加坡设立世界上第一个MEMS 研发中心“Lab-In-Fab”

PMUT项目是ST在新加坡全新MEMS 研发中心“Lab-In-Fab” 开发压电MEMS产品路线图的一部分。2020年11月，意法半导体宣布与新加坡A* STAR微电子研究所（简称IME）和日本领先的制造工具供应商ULVAC合作，在意法半导体新加坡晶圆厂内联合创办一条以压电式MEMS技术为重点研究方向的8英寸(200mm)晶圆研发生产线。

这个全球首创的“Lab-in-Fab”（晶圆厂内实验室）研发生产线将三方在压电材料、压电式MEMS技术和晶圆制造工具领域的领先技术和优势互补的研发能力整合在一起，促进新材料和工艺技术创新发展，最终加快企业客户的产品开发。