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开源涡轮分子真空泵控制器

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丿灬幸灬 发布时间:2018-11-23 20:18
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% I/ g4 z1 m# u; R, C6 K1 ^5 H# `DIY基于STM32的真空泵控制器。) j, r) h$ @: e8 C0 h

! z; g: _$ n/ F: k# h! f! s描述
" i8 W2 r' K' y+ t. n' ?( ~我让这台TURBOVAC 50 涡轮分子泵停了一段时间,因为原来的控制器因电缆断裂而起火。2 I9 @1 J8 I) h+ g/ ^/ J
因为我想在未来用溅射和离子注入做更多的事情,我花了两天时间从头开始构建一个新的控制器。
% @  Z2 ^0 {+ X6 R9 |这并不是一份完整的项目报告,如果你不知道TMP是什么,你可能不需要继续阅读。
& Z$ E& C! a8 d6 G( g: g( R' t无论如何,如果你有幸得到了一个便宜的TMP,而你只是错过了控制器,
9 @# P6 u. s# V2 ~: X那么很有可能在这个项目上找到构建TMP所需的一切。
, F& E8 N: K  \8 e& p, B4 @( c5 p0 e5 N2 W) [! F$ W
4348001524739287679.jpg
' p2 U9 }1 c: i# g5 M细节
( w& B6 ?- @8 ogithub上,你可以找到你需要的所有代码。; q9 E9 J; a) G8 m, J' ~2 [, m, c
如果你有一定的基础,你可能不需要任何额外的建议。% T2 q9 N2 X+ z) z0 L' m
通过stm32最小系统板、IGBT模块或分立的TO220 MOSFET,
: j8 u  o+ x% b0 C! [8 d4 _构建栅极驱动器,获得200V DC电流源,仅此而已!
5 p+ l0 `6 j9 B3 x( j如果你像我一样使用整流自耦变压器,包括泵、按钮和LC显示器所有电路都处于主电位,那需要尤其注意。
( ^7 I& c/ ?% a0 K3 Z3 l如果你能隔离他们,那没关系。
/ q- o+ z+ z4 Z; k
# U5 ]! O( g( J4 o* Y软件很简单,它基于我的以前的一个项目,所以有一些奇怪的变量名。
$ ^; e& a! J* d; `- \& j此外,此固件不提供任何安全功能,例如,如果TMP由于泄漏或其他原因在10分钟后未达到全速,你可能就想禁用驱动程序了。3 y6 a  b, z% V: J. m$ g
此外,除了TURBOVAC 50,你可能还需要调整几个参数来让TMP顺利工作。
! P8 a0 {/ \; V& E5 V! k& k如果你使用不同于IR2110的栅极驱动器,你可能需要改变PWM输出的极性。, T9 o7 h5 ]4 Q! ?
您可以通过编辑STM32定时器配置的这两行来实现:见GitHub& t+ |3 u! @$ @5 C. h. E. g
! r4 ]4 y- |& J& i9 S  i
5096051524740717922.png 5 T* |( E+ c" `( N' k$ e) t9 t4 N
6 L7 `3 n; W% }  s/ {, A
电路被简化了,其实需要更多的部件,比如栅极驱动器需要的15V电源和stm32需要的的5V电源,以及电源相应的整流滤波设备。$ L5 l$ ], S( |) H6 A
因为我手头有原本(坏的)控制器,所以我简单地将所有输出滤波组件拆下,并将其与栅极驱动器一起放在PCB上(这个凌乱图片中的绿色PCB )。4 Y) W) d8 l" S3 Z$ N* z2 \

7 Q" j9 o- O2 |9 Z9 U3 {$ w& v 8567341524735090254.JPG 9 r$ e" i9 n# _' \" K4 o

% u7 Z/ J+ W! R' h, O1 K4 J为了了解你需要什么,下面是原始控制器的示意图。主要是那些12mH电感和4.7nF电容。
" ^. ]! w! {, i+ y
2 Z" h( f8 n( O 1607551524739854730.jpg 5 U) |, Y9 I! T+ a* A' J
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