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开源涡轮分子真空泵控制器

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丿灬幸灬 发布时间:2018-11-23 20:18
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  D7 g3 Q' Z" y7 kDIY基于STM32的真空泵控制器。
' t& F0 I% D& c' c5 ^2 ]$ P7 \+ k1 p) e! q# e" ~( _) k: v7 I5 f9 w( ]
描述9 \% q! _3 ?/ F
我让这台TURBOVAC 50 涡轮分子泵停了一段时间,因为原来的控制器因电缆断裂而起火。
4 o2 M2 z2 q% d/ O7 F6 r4 P+ @0 b- L因为我想在未来用溅射和离子注入做更多的事情,我花了两天时间从头开始构建一个新的控制器。
" c$ _! [# f, l$ r5 }6 k4 z这并不是一份完整的项目报告,如果你不知道TMP是什么,你可能不需要继续阅读。% m0 Y9 J9 B1 l- ?7 W; K
无论如何,如果你有幸得到了一个便宜的TMP,而你只是错过了控制器,0 s4 ?( C: `. b% f
那么很有可能在这个项目上找到构建TMP所需的一切。
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1 W$ d( k, c: N 4348001524739287679.jpg
$ N5 A) w8 q/ U1 i, x3 i7 k细节" Z- _2 M1 }5 i) v
github上,你可以找到你需要的所有代码。
; P4 S2 E" E) Z7 v" r" \) [4 n如果你有一定的基础,你可能不需要任何额外的建议。; y* |9 q8 e! h! i+ G! k6 W& p4 ~
通过stm32最小系统板、IGBT模块或分立的TO220 MOSFET,
3 D' R6 E1 [& i5 k+ b( i7 [构建栅极驱动器,获得200V DC电流源,仅此而已!
# N3 _( J) D9 _! M如果你像我一样使用整流自耦变压器,包括泵、按钮和LC显示器所有电路都处于主电位,那需要尤其注意。
1 c& _- p0 a0 x, i* k) D如果你能隔离他们,那没关系。
4 j6 V" K' q% J3 v2 D) o. ^1 K7 b
软件很简单,它基于我的以前的一个项目,所以有一些奇怪的变量名。/ y% O! V1 B5 Q% o, s
此外,此固件不提供任何安全功能,例如,如果TMP由于泄漏或其他原因在10分钟后未达到全速,你可能就想禁用驱动程序了。
2 j/ b* g$ V. ?) ]! c此外,除了TURBOVAC 50,你可能还需要调整几个参数来让TMP顺利工作。: z" F+ @5 T; J: ]1 |) h  }' V
如果你使用不同于IR2110的栅极驱动器,你可能需要改变PWM输出的极性。) e& a. I  C  t( V: ]+ `! ^
您可以通过编辑STM32定时器配置的这两行来实现:见GitHub
" Q$ E; G" O% r2 \; D( a& S7 u$ v4 s) v3 J8 o9 ^( u* [
5096051524740717922.png ( S. ~$ N( Y6 O. u

9 |8 ], ?- `% M# z; ~6 J电路被简化了,其实需要更多的部件,比如栅极驱动器需要的15V电源和stm32需要的的5V电源,以及电源相应的整流滤波设备。+ g: C7 Y1 g' n/ A1 ^& G+ e
因为我手头有原本(坏的)控制器,所以我简单地将所有输出滤波组件拆下,并将其与栅极驱动器一起放在PCB上(这个凌乱图片中的绿色PCB )。) W0 A# ?7 |; h1 z9 Q  F
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为了了解你需要什么,下面是原始控制器的示意图。主要是那些12mH电感和4.7nF电容。. Y  q) l# s' S9 f8 J& E, U+ X1 V) b
& U# G! p) Z, f
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