
![]() DIY基于STM32的真空泵控制器。 ! q# e" ~( _) k: v7 I5 f9 w( ] 描述9 \% q! _3 ?/ F 我让这台TURBOVAC 50 涡轮分子泵停了一段时间,因为原来的控制器因电缆断裂而起火。 因为我想在未来用溅射和离子注入做更多的事情,我花了两天时间从头开始构建一个新的控制器。 这并不是一份完整的项目报告,如果你不知道TMP是什么,你可能不需要继续阅读。% m0 Y9 J9 B1 l- ?7 W; K 无论如何,如果你有幸得到了一个便宜的TMP,而你只是错过了控制器,0 s4 ?( C: `. b% f 那么很有可能在这个项目上找到构建TMP所需的一切。 ![]() 细节" Z- _2 M1 }5 i) v 在github上,你可以找到你需要的所有代码。 如果你有一定的基础,你可能不需要任何额外的建议。; y* |9 q8 e! h! i+ G! k6 W& p4 ~ 通过stm32最小系统板、IGBT模块或分立的TO220 MOSFET, 构建栅极驱动器,获得200V DC电流源,仅此而已! 如果你像我一样使用整流自耦变压器,包括泵、按钮和LC显示器所有电路都处于主电位,那需要尤其注意。 如果你能隔离他们,那没关系。 2 D) o. ^1 K7 b 软件很简单,它基于我的以前的一个项目,所以有一些奇怪的变量名。/ y% O! V1 B5 Q% o, s 此外,此固件不提供任何安全功能,例如,如果TMP由于泄漏或其他原因在10分钟后未达到全速,你可能就想禁用驱动程序了。 此外,除了TURBOVAC 50,你可能还需要调整几个参数来让TMP顺利工作。: z" F+ @5 T; J: ]1 |) h }' V 如果你使用不同于IR2110的栅极驱动器,你可能需要改变PWM输出的极性。) e& a. I C t( V: ]+ `! ^ 您可以通过编辑STM32定时器配置的这两行来实现:见GitHub $ v4 s) v3 J8 o9 ^( u* [ ![]() 电路被简化了,其实需要更多的部件,比如栅极驱动器需要的15V电源和stm32需要的的5V电源,以及电源相应的整流滤波设备。+ g: C7 Y1 g' n/ A1 ^& G+ e 因为我手头有原本(坏的)控制器,所以我简单地将所有输出滤波组件拆下,并将其与栅极驱动器一起放在PCB上(这个凌乱图片中的绿色PCB )。) W0 A# ?7 |; h1 z9 Q F , c8 p9 t# l$ v3 _# f5 P8 T, m ![]() 8 q2 |! Y2 m! V( j1 p' t 为了了解你需要什么,下面是原始控制器的示意图。主要是那些12mH电感和4.7nF电容。. Y q) l# s' S9 f8 J& E, U+ X1 V) b & U# G! p) Z, f ![]() 0 H$ c. r& A" @; A% N( E |