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开源涡轮分子真空泵控制器

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丿灬幸灬 发布时间:2018-11-23 20:18
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  h+ ]; c9 Z' C. G* Y7 P
' Y( i# x9 H! Z4 N  C9 r: IDIY基于STM32的真空泵控制器。% \! V  W9 `5 J/ X2 V( `
' c* }# o" r( w  w% `# `
描述+ I! W# I% U, k2 V0 V! }
我让这台TURBOVAC 50 涡轮分子泵停了一段时间,因为原来的控制器因电缆断裂而起火。  `# m  a9 W) Z4 T6 |! ~
因为我想在未来用溅射和离子注入做更多的事情,我花了两天时间从头开始构建一个新的控制器。4 o6 ~' I' J# {  G  H5 _" g* j
这并不是一份完整的项目报告,如果你不知道TMP是什么,你可能不需要继续阅读。7 e; p" I  a2 E, M
无论如何,如果你有幸得到了一个便宜的TMP,而你只是错过了控制器,/ [1 N+ I( `/ ^
那么很有可能在这个项目上找到构建TMP所需的一切。. C5 @9 P/ p2 w% l- m

3 a' s! M! G8 o" x& @1 H6 i7 \; W 4348001524739287679.jpg
" z. {( R( x* A& ?- I8 D细节
) b6 D8 S5 [$ j4 B  N在github上,你可以找到你需要的所有代码。
3 h. f# y3 C3 H0 z  j, k如果你有一定的基础,你可能不需要任何额外的建议。. C2 c7 |2 r& a; O! B
通过stm32最小系统板、IGBT模块或分立的TO220 MOSFET,, Y  ?. P% J* p
构建栅极驱动器,获得200V DC电流源,仅此而已!
8 Z7 i8 ]& s: T" W! n2 O如果你像我一样使用整流自耦变压器,包括泵、按钮和LC显示器所有电路都处于主电位,那需要尤其注意。
& O' C$ ?( y* k# A  b% S/ }/ T如果你能隔离他们,那没关系。
& @, ]: N2 g6 r* H2 y0 D
1 U3 A& p" G& U' u5 Q5 A" v软件很简单,它基于我的以前的一个项目,所以有一些奇怪的变量名。
* n! Y1 c- }* I7 Y/ N8 k此外,此固件不提供任何安全功能,例如,如果TMP由于泄漏或其他原因在10分钟后未达到全速,你可能就想禁用驱动程序了。9 ?) E7 j% B. s! U3 _
此外,除了TURBOVAC 50,你可能还需要调整几个参数来让TMP顺利工作。
; C( t  I3 a) Z& m如果你使用不同于IR2110的栅极驱动器,你可能需要改变PWM输出的极性。; o3 e) m3 Z& r' s0 H! W' U( w
您可以通过编辑STM32定时器配置的这两行来实现:见GitHub
5 J6 x  @$ f+ c* i' }* d. R& C+ H9 C
5096051524740717922.png
0 E8 N3 L- h) d, Y: Z3 X9 Z0 c$ H! U& q# }( j% b
电路被简化了,其实需要更多的部件,比如栅极驱动器需要的15V电源和stm32需要的的5V电源,以及电源相应的整流滤波设备。$ I, e5 x% @, O& g1 R* q
因为我手头有原本(坏的)控制器,所以我简单地将所有输出滤波组件拆下,并将其与栅极驱动器一起放在PCB上(这个凌乱图片中的绿色PCB )。7 m6 X1 k, B- g2 E% B! L

  _1 o% _5 f1 D* N& d, s! p 8567341524735090254.JPG . x4 p3 Q0 J' E9 J6 E& H8 o* W

+ I9 U$ `- t$ N) ~. Z为了了解你需要什么,下面是原始控制器的示意图。主要是那些12mH电感和4.7nF电容。1 |, r* }3 {$ P# O2 p5 X
- C; I& x! ?* u( b! Y
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+ A6 W- _+ K9 J. a+ R: f' s% n$ i. ?/ H. {' }( @  }* n" D
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